Sistema de Envio de Químicos de Microeletrônica a Granel (BCDS)

O Sistema de Envio de Químicos a Granel (BCDS) é uma subdivisão do sistema de distribuição de químicos e voltadas para a obtenção de um maior gradiente de fluxo. Limpeza, inércia e robustez ainda são uma grande preocupação, mas esforços específicos são feitos para não comprometer o desempenho de fluxo devido aos tipos de material (isto é, fluoropolímero) que devem ser utilizados. Atingir um gradiente de fluxo na casa dos 100 lpm com química viscosa e/ou densa exigem adaptações específicas em termos de tamanho de componente, orifício e design. Tais requisitos altos de fluxo combinados com ácido muito corrosivo também são os requisitos diários da fabricação de tela plana