Soluções em Caixas de Microeletrônica e Tubos de Ligação

Uma caixa de válvula é uma combinação de válvulas de alta pureza localizadas na fábrica, após um sistema de distribuição de químicos, para dividir o fluxo central de um químico rumo a localização específica na fábrica.  Ela normalmente é composta de uma combinação de válvulas pneumáticas, controlada por meio de um local remoto para a operação diária e válvulas manuais que podem ser acionadas por um operador quando ocorrer uma operação específica (principalmente manutenção). Hoje, muitos dos nossos  clientes estão caminhando para o conceito do manifold em vez da válvula discreta para economizar espaço e reduzir potenciais pontos de vazamento. O estado da válvula pneumática normalmente é confirmado por um sistema de indicador de posição, que transmite a informação para o mesmo autômato que aciona a válvula.

 

O tubo de ligação é um dos muitos nomes para os tubos de fluoropolímero que funcionam na instalação/porão de uma fábrica para conectar ao sistema de distribuição de químicos, tanque diário e tanque de armazenamento. Devido a natureza crítica dos químicos utilizados normalmente na industria de semicondutores (Ácido fluorídrico (HF); ácido clorídrico (HCl); ácido sulfúrico (H2SO4); ácido fosfórico (H3PO4); TMAH; peróxido de oxigênio (H202)),  tubo ou canos de fluoropolímero são críticos para garantir a segurança e a integridade do fluido transportado. Para melhor segurança, contamos com o tubo de contenção dupla, que fornece uma camada adicional de proteção.

 

Leia o nosso artigo “Uso da Tecnologia do Manifold em Sistemas de Fluido para Fabricação de Microeletrônica” para aprender como essa tecnologia ajuda a otimizar a segurança, limpeza e custo de manutenção >>