Systèmes de distribution de produits chimiques en micro-électronique
Pompes pour produits chimiques, vannes et mouilleurs haute pureté
Les systèmes de distribution de produits chimiques sont généralement désignés par les abréviations suivantes : CCSS, CDS ou SDS et se réfèrent aux produits transférés et au niveau de débit. Cette installation spécifique est considérée comme étant le cœur d’une installation en micro-électronique puisqu’elle énergise le produit chimique qui est transporté du stockage principal vers le stockage journalier ou directement vers un outil dans une salle blanche. En raison de leur fonction, les pompes pour produits chimiques haute pureté, les mouilleurs haute pureté, les vannes haute pureté ou autres composants installés dans un système de distribution de produits chimiques sont essentiels dans l’entretien d’un système de traitement de plaquette, afin de le maintenir à nouveau, en état de fonctionnement et de fournir le produit chimique nécessaire qui sera traité sur la plaquette.
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Notre valeur
- Fabriqué pour durer et facile à sélectionner
- Sans métal
- Sans joint torique
- Accessoires permettant un excellent contrôle du débit
- Gamme complète de composants, du tube jusqu’à la pompe
