Chemikalienabgabesystem in großen Mengen für Mikroelektronik (BCDS)

Das BCDS („Bulk Chemical Delivery System“) ist eine Unterteilung des Verteilersystems für Chemikalien und ist auf eine höhere Durchflussrate ausgerichtet. Sauberkeit, Trägheit und Robustheit sind nach wie vor wichtige Punkte, aber es werden dabei besondere Anstrengungen unternommen, um das Fließverhalten  aufgrund der verwendeten Materialtypen (Fluorpolymer) nicht zu beeinträchtigen Das Erreichen einer Durchflussmenge von rund 100 lpm, manchmal mit viskosen und/oder dichten Chemikalien, erfordert spezifische Anpassungen hinsichtlich Bauteilgröße, Öffnung und Konstruktion. Solche hohen Durchflussanforderungen in Verbindung mit sehr korrosiver Säure gehören ebenso zu den täglichen Anforderungen bei der Herstellung von Flachbildschirmen.